人类从事将真空作为灭弧和绝缘介质的应用研究，迄今已有一百多年的历史。早在1893年，美国人里顿豪斯就设计出世界上第1只真空灭弧室并以专利的形式发表;1920年，瑞典佛加公司研制出世界上第一台真空开关;1926年，加里福尼亚工学院的索伦森教授发表了真空开关的试验结果，显示了在真空中分断电流的可能性，并预言应用真空开关的时代不久就会到来。但因分断能力小，又受到真空技术和真空材料发展水平的限制，尚不能投入实际使用，使得真空开关在工业上的实际应用被大大推迟了。

到1950年前后，随着真空技术以及相关技术如冶金技术等的发展，真空灭弧室的制造技术得到了提高，又重新开始了真空开关在工业上应用的研究。 1956年，罗斯对杰宁无线电制造公司生产的用于高频回路的真空开关进行了改造，试制出了15kV、200A的真空开关。50年代美国才制成第一批适用于切断电容器组等特殊要求的真空开关,分断电流尚停在4千安的水平。

二十世纪70年代初，全球范围掀起的中压开关无油化浪潮给真空开关带来了前所未有的发展机遇。80年代中期，真空断路器的分断能力已达100千安。

凭借自身巨大的技术优势，真空开关仅用了不到20年的时间就取代少油开关而成为中压领域的主导产品。目前单断口真空断路器已达到145kV电压等级，短路开断电流已达到200kA。